光學(xué)微電子凈化車間設(shè)計方案

　電子凈化車間的設(shè)計過程中，應(yīng)加強(qiáng)對光學(xué)微電子行業(yè)凈化車間設(shè)計方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化車間設(shè)計方案，這樣才可設(shè)計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實用的方案。

　　1、組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口
　　這是一個最傳統(tǒng)的電子凈化車間設(shè)計方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。
　　優(yōu)點(diǎn)：
　　A.空氣處理效果好，因空氣經(jīng)過集中處理，在送風(fēng)過程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的控制比較精確;
　　B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;
　　C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨(dú)立冷熱源;
　　D.維修頻率較低;
　　E.車間的噪音低。
　　缺點(diǎn)：
　　A.此凈化車間設(shè)計方案需要有配套的冷凍機(jī)房或有放置熱泵機(jī)組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機(jī)組的空調(diào)機(jī)房，如25000m3/h的組合式空氣處理機(jī)組，常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對于舊廠房改造項目來說比較困難空出一個20-30┫的機(jī)房的;
　　B.造價高。
　　特點(diǎn)：
　　A.建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);
　　B.這類凈化車間設(shè)計方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化車間廠房。
　　2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化車間設(shè)計方案分析之水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口
　　與前種方案比較，這是相對比較簡單的凈化車間設(shè)計方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積，水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房內(nèi)或凈化車間內(nèi)，增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房內(nèi)或吊在機(jī)房內(nèi)或在夾層內(nèi)。
　　優(yōu)點(diǎn)：
　　A.空氣處理效果較好的，處理過后的空氣在送風(fēng)過程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達(dá)到較好的控制。主要在空氣處理機(jī)組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行控制;
　　B.布置靈活。自帶冷源;
　　C.大小廠房、新舊廠房都適用;
　　D.維修頻率較低;
　　E.車間噪音低。
　　缺點(diǎn)：
　　A.此凈化車間設(shè)計方案需要小面積的機(jī)房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;
　　B.空調(diào)機(jī)組與空調(diào)處理機(jī)組要集中布置;
　　C.造價較低。
　　特點(diǎn)：這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)，具體根據(jù)凈化車間的大小情況而定;這類凈化車間設(shè)計方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化車間廠房。
　　3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化車間設(shè)計方案分析之分體空調(diào)柜機(jī)++FFU送風(fēng)口
　　這是最簡易的一個凈化車間設(shè)計方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的凈化車間。
　　優(yōu)點(diǎn)：
　　A.不需要占用機(jī)房面積，布置很靈活的;
　　B.可以滿足空氣的潔凈度;
　　C.造價最低。如此類無塵車間初投資約需要40萬;
　　D.送風(fēng)均勻度好。
　　缺點(diǎn)：
　　A.溫濕度控制較差;
　　B.可以滿足空氣的潔凈度;
　　C.FFU的維修頻率高。
　　凈化車間的設(shè)計應(yīng)全面考慮，最終制定一個雙方都滿意的方案。